上喷淋头和下喷淋头的区别_上喷淋头和下喷淋头的区别

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中微公司申请薄膜沉积装置及其气体喷淋头组件专利,有助于提高不同...气体喷淋头组件,与加热器相对设置,且两者之间设置一间隙,气体喷淋头组件包括:喷淋头本体,其材料具有第三折射率;镀层,位于喷淋头本体朝向加热器的表面上,其厚度大于10微米小于50微米,其材料具有第二折射率,第二折射率大于第一折射率小于第三折射率,以在不同批次待处理基片表...

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25个消防喷淋头19个被胶带封堵 北京海淀一施工单位被处罚为切实做好冬春火灾防控工作,进一步强化施工现场消防安全管理,近日,北京市海淀区消防救援支队深入施工现场开展消防安全检查。在对一大型商业综合体施工项目进行检查时,消防监督执法人员发现,该单位施工现场内共安装有25个消防喷头,其中,19个喷淋头被胶带封堵,无法正常使用...

长鑫存储申请喷淋头、沉积设备及其工作方法专利,改善薄膜的均匀性金融界2024年3月8日消息,据国家知识产权局公告,长鑫存储技术有限公司申请一项名为“喷淋头、沉积设备及其工作方法“,公开号CN117660930A,申请日期为2022年8月。专利摘要显示,本公开涉及一种喷淋头、沉积设备及其工作方法,喷淋头包括出气面板以及位置调整机构。出气面板...

中微公司申请喷淋头清洗剂及清洗方法专利,有效地去除喷淋头电极...金融界2024年6月7日消息,天眼查知识产权信息显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为“一种喷淋头清洗剂及清洗方法“,公开号CN202211553483.9,申请日期为2022年12月。专利摘要显示,一种喷淋头电极清洗剂,所述喷淋头电极清洗剂包含(a)弱酸或酸性氨基酸,(b)有机...

中微公司申请喷淋头加热设备专利,提高喷淋头的清洁效果及沉积工艺...所述安装基板的下方设有喷淋头,所述安装基板与喷淋头之间设有与第一进气通道连通的加热盘腔;所述喷淋头加热装置包括在加热盘腔内的可升降的加热盘,所述加热盘能够下降至靠近或抵接喷淋头的顶面的位置并对喷淋头进行加热,以及上升至远离喷淋头的顶面的位置并停止加热。本...

拓荆科技申请喷淋头结构专利,提升晶圆表面沉积薄膜均匀性金融界2024年11月30日消息,国家知识产权局信息显示,拓荆科技(上海)有限公司申请一项名为“喷淋头结构,半导体器件的加工设备及加工方法”的专利,公开号 CN 119040855 A,申请日期为 2024 年 8 月。专利摘要显示,本发明公开了一种喷淋头结构、半导体器件的加工设备及加工方法...

楚赟精工取得气体喷淋头及气相反应装置专利金融界2024年11月23日消息,国家知识产权局信息显示,楚赟精工科技(上海)有限公司取得一项名为“气体喷淋头及气相反应装置”的专利,授权公告号 CN 116240519 B,申请日期为2022年12月。

无锡市鹏得取得一种喷淋头组件及其焊接工装专利,节约加工成本其包括喷淋头外壳,喷淋头外壳包括喷淋盘和进水管口,喷淋盘的外周向外凸起、形成环状防喷溅室,喷淋盘的中部设有出水部,出水部内部嵌装有喷淋头,喷淋头呈一体成型的一端封闭的管状,喷淋头的封闭端设有两个出水孔,喷淋头封闭端的端面上还设有将两个出水孔连通的水路通道,喷淋...

上海积塔半导体申请喷淋头等相关专利,避免化学气相沉积中的不良问题金融界2024年10月21日消息,国家知识产权局信息显示,上海积塔半导体有限公司申请一项名为“喷淋头、化学气相沉积设备及其工作方法”的... 从出风面板的边缘至中心形成多个出风环相邻的两个出风环用于输出不同种类的反应气体;多个气体存储区,位于壳体内多个出气孔与多个进气...

无锡金源半导体科技取得一种加热喷淋头专利,保证薄膜沉积的质量金融界2024年11月23日消息,国家知识产权局信息显示,无锡金源半导体科技有限公司取得一项名为“一种加热喷淋头”的专利,授权公告号CN 222029044 U,申请日期为2023年12月。专利摘要显示,本实用新型涉及一种加热喷淋头,包括盖板和喷淋板,其中,所述盖板上设置有加热元件,所述...