啥叫中微颗粒_啥叫中微颗粒

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...取得流体处理装置及其制备工艺专利,能高效清除流体中微/纳米级颗粒多孔结构内孔洞的直径大于 0 但小于选定颗粒的粒径;线形体的局部或全部表面及基体的局部或全部表面设置合适低表面能物质形成的涂层,或直接利用疏水材料形成线形体、基体。本申请的流体处理装置具有通量大、流阻小、能高效清除流体中微/纳米级颗粒等特点,可重复使用,使用寿...

ˇ△ˇ 中微公司取得一种托盘搬运装置及气相沉积系统专利,有效避免颗粒...金融界2024年6月7日消息,天眼查知识产权信息显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司取得一项名为“一种托盘搬运装置及气相沉积系统“... 本实用新型对托盘进行搬运时可以避免直接与托盘进行接触,从而避免对托盘上的晶圆造成颗粒污染;同时还能够在托盘的温度较高时搬运托盘...

中微公司申请分气转接环、托盘旋转机构及半导体处理设备专利,该...金融界2024年6月7日消息,天眼查知识产权信息显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为“分气转接环、托盘旋转机构及半导体... 用于向晶圆托盘组件的底部与加热装置的顶部之间的区域吹扫气体。本发明防止颗粒物沉积在加热装置上,有效保护加热装置,确保对晶圆的均...

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中微公司申请半导体零部件及其制造方法专利,该制造方法能够在待...金融界2024年6月21日消息,天眼查知识产权信息显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为“半导体零部件及其制造方法“的专利... 去除所述牺牲层和牺牲层表面的耐腐蚀涂层。所述制造方法能够在所述待处理面上形成耐腐蚀涂层,且能够减少颗粒污染。本文源自金融界

中微公司申请喷淋头清洗剂及清洗方法专利,有效地去除喷淋头电极...金融界2024年6月7日消息,天眼查知识产权信息显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为“一种喷淋头清洗剂及清洗方法“,公开... 等基材的情况下,有效地去除喷淋头电极气孔内的陶瓷沉积物,同时去除使用过的喷淋头电极表面的颗粒污染物、有机污染物。本文源自金融界