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中微公司在等离子体刻蚀技术领域再次实现重大突破ICP双反应台刻蚀机Primo Twin-Star®又取得新的突破,反应台之间的刻蚀精度已达到0.2A(亚埃级)。这一刻蚀精度在氧化硅、氮化硅和多晶硅等薄膜的刻蚀工艺上,均得到了验证。该精度约等于硅原子直径2.5埃的十分之一,是人类头发丝平均直径100微米的500万分之一。这是等离子体刻...

中微公司在等离子体刻蚀技术领域实现重大突破

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科普:水星周围探测到神秘的“歌唱”等离子体波在有磁层的行星周围,神奇的事情发生了。 如果你用正确的仪器听,你就可以听到啁啾声和口哨声,就像黎明和黄昏时鸟儿的歌声。这些所谓的“... 并在等离子体中产生波时,就会发生这种情况。 这些波可以被记录下来并转换成声音,声音的变化取决于电子运动的方式和位置。 对水星的探索...